Máy xi mạ PVD (Physical Vapor Deposition) là thiết bị quan trọng trong ngành công nghiệp xử lý bề mặt, giúp tạo ra các lớp phủ bền vững với độ chính xác cao. Tuy nhiên, trong quá trình vận hành, người dùng thường gặp phải một số lỗi kỹ thuật ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm. Dưới đây là những sự cố phổ biến và giải pháp khắc phục hiệu quả.
1. Lớp Phủ Không Đều Màu
Nguyên nhân:
- Vật liệu nền chưa được làm sạch kỹ, còn dính dầu mỡ hoặc tạp chất.
- Nhiệt độ buồng mạ không ổn định, dẫn đến tốc độ bốc hơi kim loại không đồng đều.
- Vị trí đặt chi tiết không cân đối, khiến một số khu vực không nhận đủ nguyên tử phủ.
Cách khắc phục:
- Vệ sinh bề mặt vật liệu bằng dung môi chuyên dụng hoặc plasma trước khi mạ.
- Kiểm tra và điều chỉnh nhiệt độ buồng mạ trong khoảng 200 – 500°C tùy loại vật liệu.
- Sắp xếp chi tiết cách đều target và sử dụng hệ thống xoay để đảm bảo độ phủ đồng nhất.
2. Lớp Phủ Bị Bong Tróc
Nguyên nhân:
- Áp suất chân không không đạt yêu cầu (dưới 10⁻³ mbar), khiến khí oxy còn sót lại phá hủy liên kết lớp phủ.
- Vật liệu nền có độ nhám quá thấp, làm giảm khả năng bám dính.
- Quá trình gia nhiệt không đủ lâu để tạo liên kết bền vững giữa lớp phủ và nền.
Cách khắc phục:
- Kiểm tra hệ thống bơm chân không và thay thế gioăng cao su nếu bị rò rỉ.
- Xử lý tăng độ nhám bề mặt bằng phương pháp phun cát hoặc mài mòn nhẹ.
- Duy trì thời gian gia nhiệt tối thiểu 30 phút trước khi phún xạ.
3. Màu Sắc Lớp Phủ Không Đúng Yêu Cầu
Nguyên nhân:
- Tỷ lệ khí phản ứng (như nitơ, acetylene) không chính xác khi tạo hợp chất (ví dụ: TiN, CrC).
- Nhiệt độ target quá cao hoặc quá thấp so với tiêu chuẩn.
Cách khắc phục:
- Hiệu chỉnh lưu lượng khí bằng đồng hồ đo MFC (Mass Flow Controller).
- Theo dõi nhiệt độ target qua cảm biến và điều chỉnh công suất nguồn phún xạ.
4. Máy Ngừng Hoạt Động Đột Ngột
Nguyên nhân:
- Quá tải điện áp do sự cố nguồn plasma hoặc chập mạch.
- Hệ thống làm mát không đủ công suất, khiến máy tự ngắt để bảo vệ.
Cách khắc phục:
- Lắp đặt bộ ổn áp và kiểm tra dây tiếp đất.
- Vệ sinh bộ tản nhiệt và bổ sung nước làm mát nếu dùng hệ thống giải nhiệt bằng nước.
Lời Khuyên Bảo Trì Định Kỳ
- Thay dầu bơm chân không mỗi 500 giờ hoạt động.
- Vệ sinh buồng mạ sau mỗi 10 – 15 mẻ để tránh tích tụ tạp chất.
- Hiệu chuẩn cảm biến áp suất và nhiệt độ 6 tháng/lần.
